Về cơ bản, một bộ lọc HEPA là một chiếc lưới của các sợi sắp xếp ngẫu nhiên[7]. Các sợi, thường bao gồm các sợi thủy tinh hoặc sợi vải không dệt, có đường kính từ 0,5 đến 2,0 micromét. Các yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến khả năng lọc là độ dày sợi, và tốc độ mặt. Khe hở giữa các sợi HEPA thường lớn hơn 0,3 μm. Khác với công nghệ lọc màng mỏng - ở đó các hạt có kích thước lớn hơn khe hở ở tấm lọc bị chặn, ở kích cỡ khe hở này của các sợi HEPA, tấm lọc HEPA có thể chặn các hạt có kích thước nhỏ hơn. Các hạt này bị bẫy và dính vào các sợi lọc, bằng việc kết hợp 3 cơ chế sau:

Khuếch tán

Do va chạm giữa các hạt bụi kích thước nhỏ, nhỏ hơn 0,1 µm, với các phân tử không khí, đường đi của các hạt bụi trở nên dích dắc, tương tự chuyển động Brown, làm tăng xác suất chúng bị dính vào các sợi lọc bằng cơ chế chặn và va đập nêu bên dưới. Cơ chế này hiệu quả khi tốc độ chảy của dòng khí là thấp.

Chặn

Hạt đi theo chuyển động của dòng khí, đâm vào sợi hoặc nơi giao nhau của các sợi, bị các sợi chặn lại và bị dính vào sợi.

Va chạm

Các hạt lớn, có quán tính lớn, không đi vòng được như dòng khí để qua khe hở của các sợi lọc, và do đó đâm vào các sợi và bị dính ở đó. Hiệu ứng này tăng lên khi khe hở giữa các sợi nhỏ đi và tốc độ dòng chảy khí tăng lên.

Khuếch tán có hiệu quả với hạt có đường kính nhỏ hơn 0,1 μm, còn hai cơ chế còn lại có hiệu quả với hạt có đường kính lớn hơn 0,4 μm.[8] Kích thước mà có số lượng hạt lọt qua nhiều nhất (viết tắt là MPPS theo tiếng Anh) là 0,21 μm, ở đó tất cả các cơ chế đều kém hiệu quả.[9] Bởi vì đây là kích thước hạt mà HEPA kém hiệu quả nhất, năng lực bắt giữ các hạt có kích thước gần cỡ này (0,3 μm) được dùng để phân loại các tấm lọc HEPA.[8] Tuy nhiên những hạt có kích thước nhỏ hơn MPPS cũng có thể không được lọc hiệu quả hơn MPPS, do các hạt này có thể trở thành tâm để ngưng tụ và hình thành những hạt lớn dần, tiệm cận đến kích thước MPPS.[9]

Lọc khí

Tấm lọc HEPA được thiết kế để lọc các hạt bụi kích thước rất nhỏ, nhưng chúng không lọc được các phân tử khí và mùi hôi. Việc lọc khí có thể dùng các bon hoạt tính hoặc các loại lọc khác thay vì HEPA.[10] Tấm lọc vải các bon được cho là hiệu quả hơn các bon hoạt tính dạng hạt trong việc hấp thụ các khí ô nhiễm, được biết theo tên viết tắt HEGA ("High Efficiency Gas Adsorption") vốn được quân đội Anh phát triển để chống vũ khí hóa học.[11][12]

Tiền xử lý cho HEPA

Tấm lọc HEPA có thể được sử dụng kết hợp với các loại lọc tiền xử lý (như các bon hoạt tính) để tăng tuổi thọ - các tấm tiền xử lý thường rẻ hơn tấm lọc HEPA.[13] Việc lọc tiền xử lý, ở tầng lọc thứ nhất, được dùng để loại bỏ các hạt bụi lớn (như PM10), tóc, phấn hoa,.... sau đó tầng lọc thứ hai có thể dùng tấm lọc HEPA, để lọc tiếp các hạt nhỏ hơn thoát ra được từ tầng lọc thứ nhất.